近日,2019年上海领军人才培养计划入选名单正式公布,上海市计测院学科带头人傅云霞同志入选!
人物事迹
傅云霞深耕几何量计量30余年,在精密几何量误差理论和分析领域具有深厚造诣,现任上海市计测院机械制造所所长。
近年来,在傅云霞同志的带领下,精密几何量团队围绕集成电路、飞机制造产业等上海科创中心建设的重点发展方向不断开展深入研究,聚焦半导体产业微型化器件特征尺寸的纳米计量需求,重点开展了微纳米联动定位运动技术、接触与非接触纳米零点定位传感技术以及纳米标准样板的研发工作。傅云霞同志作为主要技术专家,倾力于国家重大仪器开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目,组织研制了多个型号纳米测量仪和具有多个几何标准尺寸的纳米标准样板,填补了国内多项纳米计量技术的空白。2019年,上海市计测院与中国商飞公司共同建立了民用飞机智慧测量技术联合实验室,傅云霞同志带领大尺寸几何量团队开展大尺寸测量系统多参数综合校准技术研究和面向飞机制造的大尺寸测量仿真及优化技术研究,大大提升了我国民用飞机大尺寸计量测试技术水平。2020年起实施的国家重点研发计划“硅基MEMS高深宽比三维结构的干涉显微无损测量技术”项目中,傅云霞同志作为二级课题负责人,带领课题组研发高深宽比的硅基MEMS结构测量技术,解决了半导体、精密加工领域中硅基MEMS高深宽比结构快速无损测量的迫切需求,推动我国半导体产业硅基MEMS器件的制备工艺水平。近年来,傅云霞同志发表论文二十余篇,获得省部级奖励5项,取得发明专利授权11项。作为专业技术带头人,成功组建2个局级科技创新团队。作为院博士后工作站指导老师,先后培养4名博士后。作为上海交大、上海理工和中国计量大学联合培养带教老师,指导博士1名、硕士10余名。
傅云霞是上海市计测院继邵力、邹子英之后,第三位高层次专家获得此项殊荣。上海市计测院将持续深化对领军人才的培养,充分发挥领军人物的引领作用,为更好地服务上海科创中心建设提供计量技术支撑和人才保证。
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