图1 美国吉时利上市的可测量1fF电流的I-V试验测量仪
美国吉时利仪器公司(Keithley Instruments)推出了可测量低至1fA(f为10-15) 微弱电流的电流--电压试验测量仪。该产品是该公司“2600系列System SourceMeter”的低电流测量款,备有单通道输入的“2635型”和双通道输入的“2636型”2种产品(图1)。原产品能够测量的最小电流值为 1pA。由于半导体的耗电越来越低,同时光元器件和各种传感器等低电流工作的电子器件的开发日趋活跃,所以开发了此次的产品。
该公司为实现1fA电流的测量进行了以下三方面的努力: 采用不产生噪音的自制放大器;通过改善结构和材料来分离测量电路;在高清洁度工厂内制造。
2635型和2636型配备有通过给半导体元件施加电压和任何波形的脉冲来测量直流电流强度的功能。测量范围为电流为1fA~1.5A,电压为1μV~200V。另外,通过内置称为“Test Script Processor(TSP)”的自行开发的处理器,即使不使用电脑也能设定测量条件,以及切换复杂的测量步骤。通过自动进行上述测量,可进行每秒1万次以上的测量。不仅设定时间较短,实际测量时间也很短。测出的电流值稳定时间为,1nA电流时为250ms以下。另外,通过连接多个该公司自主开发的 “TSP-Link”接口,即便增加了输入通道,也能像1台测量仪那样进行控制。
价格方面,单通道的2635型为118万9000日元(约合人民币7万8千),双通道的2636型为195万9000日元(约合人民币12万8千)。交货时间为接到订单后6周内。