随着纳米科学和纳米技术的进步，人们已经不满足于扫描物体表面，而是把目光投向探究生物有机体的内部深层结构和物质的结构，从而得以分析出其组成成分?同时，也促进了电子学、电磁学、光学和化学等学科的进步。 为了测量形态、构成、磁力、偏振或化学成分等方面纳米层次的内部变化，X光显微镜不仅可以补充电子显微镜的不足，而且具有更多的优势。位于美国能源部劳伦斯伯克利国家实验室高级光源的XM－1型X光显微镜，使用明亮的光束一“软”X光制得的图像不仅显示出了结构，而且可以分析鉴定出它们的化学元素，并同时测量它们的电磁特性和其他性质。 现在一种新型的在纳米层级上创造光学设备的方法使得伯克利实验室X光光学中心（CXRO）的研究人员可以建造和操作XM－1型X光显微镜来获得超高分辨率的图像，甚至可以超过15纳米的精度，同时研究人员在近期之内可以取得更高分辨率，伯克利实验室材料科学小组的晁伟伦（音译）说，我们的这项新技术使得超小三维结构的装配成为可能。我们相信这是通过电子束平版印刷术实现微型装配技术上一大突破。