近日，由国家发展改革委支持建设的“集成电路装备专用高精密温度控制系统产业化”项目完成验收。
该项目由上海微电子装备有限公司承担建设，研制了高精度温度控制系统试验平台，形成了温度控制系统的批量生产能力，获专利授权12项、软件著作权3项。
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