《微、纳米功能薄膜分析方法研究及其国家标准制订》项目通过验收
发布时间：2016-01-04
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来源：上海市计测院
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近日，由上海市计测院承担的上海市质量技术监督局科研项目《微、纳米功能薄膜分析方法研究及其国家标准制订》（项目编号：2013-49）顺利通过专家验收。
微、纳米功能薄膜材料在战略性新兴产业中扮演非常重要的角色，已被广泛应用于太阳能电池、集成电路、半导体存储器件、气体传感器等领域。而针对薄膜开展测量方法研究也是确保产品质量，改进生产工艺，以及查找产品失效原因的基础。项目组结合当前微、纳米薄膜测量研究难点，开展了利用辉光放电发射光谱分析金属氧化物膜的方法研究，完成了《表面化学分析辉光放电发射光谱 金属氧化物膜的分析》国家标准制订。该标准的制订为功能薄膜的测量提供可依靠的标准方法，也为相关薄膜测量仪器的研制以及薄膜测量结果的一致性提供技术支持，填补了我国在利用辉光放电发射光谱分析金属氧化物膜标准方法的空白。项目组围绕项目研究内容发表研究论文3篇，制定国家标准1项。项目研究成果得到验收专家的一致认可。
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