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中国科协学会学术部发来感谢信: 感谢中国计量测试学会积极参与2020重大科学技术问题和工程技术难题推荐工作

发布时间:2020-09-18 作者: 来源: 浏览:242

近日,中国计量测试学会收到中国科协的感谢信,信中对学会在2020年重大科学技术问题和工程技术难题遴选推荐工作中,积极有效组织计量测试相关专家撰写重大问题的政策建议表示衷心感谢!

2020年8月15日,中国科协在第二十二届中国科协年会上,对外发布了20项2020年前沿重大科学问题和工程技术难题,其中,中国计量测试学会推荐的“如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题”位列其中。

作为中国科协所属学会,今后,中国计量测试学会将一如既往与中国科协一道,深入贯彻习近平总书记关于科技创新的系列指示精神,发挥学会的资源优势、平台优势和技术优势,提升学术引领能力,为推动社会可持续发展、建设世界科技强国做出积极的贡献。


“如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题”介绍

在上一代国家集成电路制造02专项中,缺陷在线检测设备的研发投入相对较少,我国在该领域存在明显短板,设备水平远落后于发达国家,因此,缺陷检测设备是我国半导体产业链中最薄弱的环节之一,研发集成电路高灵敏度缺陷在线检测技术与装备迫在眉睫。

集成电路领域目前是国际科技竞争的主战场和大国博弈焦点。对于集成电路缺陷检测技术及设备,一方面现有最先进技术设备被少数几个发达国家垄断,对我国技术封锁;另一方面,世界范围内7纳米及以下节点的缺陷在线检测技术仍未成熟,设备缺口仍然巨大,谁率先掌握了相应关键技术,谁就掌握了未来主导权,这对我国来说既是机遇又是挑战。因此,突破下一代节点集成电路制造缺陷在线检测技术,不但可以打破以美国为首的技术封锁,解决“卡脖子”问题,还将提升我国制造业整体水平,为交叉领域科技发展产生重大影响力和引领推动作用,同时带来巨大经济效应和国际影响力,占领国际竞争至高点。


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